ปั๊มสุญญากาศ ULVAC รุ่น PRC Series

ปั๊มสุญญากาศ ULVAC รุ่น PRC Series สามารถใช้งานร่วมกับปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง ปั๊มสูญญากาศแบบ Oil Rotary หรือปั๊มสูญญากาศ Water-sealed ปั๊มเพิ่มแรงดันสามารถเพิ่มความเร็วของปั๊มในช่วงระหว่าง 10kPa to 0.1 Pa เมื่อความเร็วของปั๊ม roughing pump ลดลง PRC ซีรีส์ได้รับการออกแบบสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และจอภาพผลึกเหลว (Liquid Crystal Display: LCD) ซึ่งต้องการความสะอาดเป็นพิเศษ

ปั๊มสุญญากาศ ULVAC รุ่น PRC Series

คุณสมบัติ

  • ไม่ใช้น้ำมัน

ไม่มีน้ำมันในท่อปั๊ม ส่งผลให้มีเสถียรภาพในการทำงานแม้ในขณะขจัดไอน้ำหรือไอระเหยของตัวทำละลาย

  • Canned motor

การใช้ Canned motor สามารถหลีกเลี่ยงการใช้ mechanical seal ระหว่างบรรยากาศและสุญญากาศ สามารถใช้ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดโดยไม่ต้องกังวลเกี่ยวกับการรั่วไหลของน้ำมัน

  • การรักษาพื้นผิวที่ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม

การเคลือบ Anodic oxide สำหรับความแข็งผิวและความต้านทานการกัดกร่อนในชิ้นส่วนหลักสามารถป้องกันรอยขีดข่วนและการกัดกร่อนภายในปั๊ม สามารถเลือก Nonsurface treatment ได้

การใช้งาน

  • ใช้กับงาน สปัตเตอริง, การชุบไอออน
  • การอบแห้งด้วยสุญญากาศ, การอบแห้งแบบแช่แข็ง, การกำจัดก๊าซด้วยสุญญากาศ
  • ใช้สำหรับเครื่องมือวิเคราะห์, ระบบตรวจสอบการรั่วไหล
  • การแลกเปลี่ยนก๊าซ, filling, ฉนวนสุญญากาศ
  • การอบชุบ, เตาหลอม
  • การใช้งานอื่นๆของระบบสุญญากาศ

SPECIFICATION

Model PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
Maximum pumping speed 50Hz m3/h 280 500 1000 1500
L/min 4670 8330 16700 25000
cfm 165 294 590 885
60Hz m3/h 330 600 1200 1800
L/min 5500 10000 20000 30000
cfm 194 353 706 1062
Maximum suction pressure 50Hz Pa 1.2 x 103 1.3 x 103 1.2 x 103
Torr 9 10 9
mbar 12 13 12
60Hz Pa 9.3 x 102 1.1 x 103 9.3 x 102
Torr 7 8.2 7
mbar 9.3 11 9.3
Maximum allowable differential pressure 50Hz Pa 4.0 x 103 7.3 x 103 4.3 x 103
Torr 30 55 32
mbar 40 73 43
60Hz Pa 3.3 x 103 6.0 x 103 3.2 x 103
Torr 25 45 24
mbar 33 60 32
Ultimate pressure *1 Pa 4.0 x 10-1 6.7 x 10-1
Torr 3.0 x 10-3 5.0 x 10-3
mbar 4.3 x 10-3 6.7 x 10-3
Allowable drive pressure Pa to 1.0×105 (atmospheric pressure start type)
Torr to 760 (atmospheric pressure start type)
mbar to 10000 (atmospheric pressure start type)
Motor *2 kW (poles) 0.75 (2) 2.2 (2) 3.7 (2) 5.5 (2)
HP (poles) 1 (2) 3 (2) 5 (2) 7.5 (2)
Oil *3 ULVOIL R-4
Oil quantity L 0.7 1.5 1.9
Cooling water Cooling method Water cooling
Primary side pressure MPa 0.3
psi 43.5
Inlet/outlet differential pressure Volume MPa 0.01 <
psi 1.45 <
L/min 2 3
Temprature *4 ºC 5 to 30
ºF 41 to 86
Inlet port VG80 / ISO80F or 100F (optional) VG100 / ISO100F (optional) VG150 / ISO150F (optional)
Outlet port/td> VF80 / ISO80F or 100F (optional) VF100 / ISO100F (optional)
Dimension (W×D×H) mm 296×575×260 356×619×320 406×759×340 406×989×340
Weight total kg 51 86 118 150
Standard roughing pump *5 VD601 VD901 VS1501 VS2401
Optional adapter flange, atmospheric pressure start type (Inverter), lubrication oil, lubrication chamber evacuation

*1. Measured by Pirani vacuum gauge. It will be about 4.0 x 10-2Pa when measured by  MacLeod vacuum gauge.

*2. AC200V (50Hz/60Hz), AC220V (60Hz), 3Phase. Other voltage is available upon request.

*3. Synthetic (R-7000) or fluorine oil (J25F) is selectable as option.

*4. Please use it in the environment of no be dewy when the temperature of cooling water is low.

*5. Performance of these pumps could change depending on roughing pump. Above data is based on standard roughing pump.

สอบถามข้อมูลเพิ่มเติมได้ที่

   

Visitors: 38,164